6.E.3."Công nghệ" để "sản xuất" vật liệu nhiệt phân được tạo thành trên khuôn, trục gá hoặc chất nền khác từ các khí tiền chất bị phân hủy trong dải nhiệt độ từ 1,300oC đến 2,900oC ở áp suất từ 130 Pa (1 mm Hg) đến 20 kPa (150 mm Hg), bao gồm "công nghệ" về thành phần khí tiền chất, lưu lượng và lịch trình, thông số điều khiển quá trình.