- Danh mục
- Danh mục hàng hóa lưỡng dụng của EU – Phụ lục I Quy định (EU) 2021/821, được cập nhật hàng năm
- Cơ chế gốc
- Thỏa ước Wassenaar
a. Vật liệu cản quang được thiết kế cho quang khắc bán dẫn như sau:
1. Vật liệu cản quang dương được điều chỉnh (tối ưu hóa) để sử dụng ở bước sóng nhỏ hơn 193 nm nhưng bằng hoặc lớn hơn 15 nm;
2. Vật liệu cản quang được điều chỉnh (tối ưu hóa) để sử dụng ở bước sóng nhỏ hơn 15 nm nhưng lớn hơn 1 nm;
b. Tất cả các vật liệu cản quang được thiết kế để sử dụng với chùm điện tử hoặc chùm ion, có độ nhạy 0,01 μcoulomb/mm2 hoặc tốt hơn;
c. Không sử dụng;
d. Tất cả các vật liệu cản quang được tối ưu hóa cho công nghệ tạo ảnh bề mặt;
e. Tất cả các vật liệu cản quang được thiết kế hoặc được tối ưu hóa để sử dụng với thiết bị in khắc dập (imprint lithography) được quy định tại 3B001.f.2. sử dụng quy trình đóng rắn bằng nhiệt hoặc bằng ánh sáng.